Three-dimensional nanofabrication by block copolymer self-assembly

© 2014 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 26(2014), 25 vom: 02. Juli, Seite 4386-96
1. Verfasser: Ross, Caroline A (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Berggren, Karl K, Cheng, Joy Y, Jung, Yeon Sik, Chang, Jae-Byum
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2014
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Research Support, U.S. Gov't, Non-P.H.S. block copolymer nanofabrication nanolithography