Nanometer scale alignment of block-copolymer domains by means of a scanning probe tip

© 2014 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 26(2014), 19 vom: 21. Mai, Seite 2999-3002
1. Verfasser: Felts, Jonathan R (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Onses, M Serdar, Rogers, John A, King, William P
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2014
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, American Recovery and Reinvestment Act Research Support, Non-U.S. Gov't Research Support, U.S. Gov't, Non-P.H.S. block-copolymer lithography shear alignment tip-based nanofabrication