Fabrication of silicon nanowire arrays by macroscopic galvanic cell-driven metal catalyzed electroless etching in aerated HF solution

Fabrication of silicon nanowire arrays by macroscopic galvanic cell-driven metal catalyzed electroless etching in aerated HF solution

© 2013 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 26(2014), 9 vom: 05. März, Seite 1410-3
1. Verfasser: Liu, Lin (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Peng, Kui-Qing, Hu, Ya, Wu, Xiao-Ling, Lee, Shuit-Tong
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2014
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't galvanic cell metal catalyzed electroless etching silicon nanowire
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