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Détails bibliographiques
Publié dans: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 25(2013), 26 vom: 12. Juli, Seite 3588-92
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Auteur principal: |
Frölich, Andreas
(Auteur) |
Autres auteurs: |
Fischer, Joachim,
Zebrowski, Thomas,
Busch, Kurt,
Wegener, Martin |
Format: | Article en ligne
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Langue: | English |
Publié: |
2013
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Accès à la collection: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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Sujets: | Journal Article
Research Support, Non-U.S. Gov't
atomic layer deposition
lithography
nanophotonics
photonic crystals
titanium dioxide |