Copyright © 2013 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 25(2013), 26 vom: 12. Juli, Seite 3588-92
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| 1. Verfasser: |
Frölich, Andreas
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Fischer, Joachim,
Zebrowski, Thomas,
Busch, Kurt,
Wegener, Martin |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2013
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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| Schlagworte: | Journal Article
Research Support, Non-U.S. Gov't
atomic layer deposition
lithography
nanophotonics
photonic crystals
titanium dioxide |
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