Polymerization inhibition by triplet state absorption for nanoscale lithography

Polymerization inhibition by triplet state absorption for nanoscale lithography

Détails bibliographiques
Publié dans:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 25(2013), 6 vom: 13. Feb., Seite 904-9
Auteur principal: Harke, Benjamin (Auteur)
Autres auteurs: Dallari, William, Grancini, Giulia, Fazzi, Daniele, Brandi, Fernando, Petrozza, Annamaria, Diaspro, Alberto
Format: Article en ligne
Langue:English
Publié: 2013
Accès à la collection:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Sujets:Journal Article
Description
Description:Date Completed 20.08.2013
Date Revised 21.10.2021
published: Print-Electronic
Citation Status PubMed-not-MEDLINE
ISSN:1521-4095
DOI:10.1002/adma.201204141