High aspect ratio sub-15 nm silicon trenches from block copolymer templates

Copyright © 2012 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 24(2012), 42 vom: 08. Nov., Seite 5688-94
1. Verfasser: Gu, Xiaodan (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Liu, Zuwei, Gunkel, Ilja, Chourou, S T, Hong, Sung Woo, Olynick, Deirdre L, Russell, Thomas P
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2012
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Research Support, U.S. Gov't, Non-P.H.S. Polymers Polystyrenes Polyvinyls Solvents poly(styrene)-block-poly(2-vinylpyrindine) diblock copolymer polystyrene-b-poly(ethylene oxide) Polyethylene Glycols mehr... 3WJQ0SDW1A Silicon Z4152N8IUI