Tunable nanometer electrode gaps by MeV ion irradiation

We report the use of MeV ion-irradiation-induced plastic deformation of amorphous materials to fabricate electrodes with nanometer-sized gaps. Plastic deformation of the amorphous metal Pd(80)Si(20) is induced by 4.64 MeV O(2+) ion irradiation, allowing the complete closing of a sub-micrometer gap....

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters. - 1998. - 100(2012), 15 vom: 09. Apr., Seite 153108-1531083
1. Verfasser:	Cheang-Wong, J-C (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Narumi, K, Schürmann, G M, Aziz, M J, Golovchenko, J A
Format:	Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2012
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	Applied physics letters
Schlagworte:	Journal Article