Versatile multilevel soft lithography method with micrometer alignment using all-flexible rubber stamps and moiré fringe technique

Versatile multilevel soft lithography method with micrometer alignment using all-flexible rubber stamps and moiré fringe technique

© 2012 American Chemical Society

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids. - 1999. - 28(2012), 8 vom: 28. Feb., Seite 4024-9
1. Verfasser: Fakhr, Omar (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Karrai, Khaled, Lugli, Paolo
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2012
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
Schlagworte:Journal Article
Online verfügbar Volltext