Influence of crystal quality on the excitation and propagation of surface and bulk acoustic waves in polycrystalline AlN films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. - 1986. - 59(2012), 1 vom: 07. Jan., Seite 128-34
1. Verfasser: Clement, Marta (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Olivares, Jimena, Capilla, Jose, Sangrador, Jesús, Iborra, Enrique
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2012
Zugriff auf das übergeordnete Werk:IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't