Continuous patterning of nanogratings by nanochannel-guided lithography on liquid resists

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 23(2011), 38 vom: 11. Okt., Seite 4444-8
1. Verfasser: Ok, Jong G (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Park, Hui Joon, Kwak, Moon Kyu, Pina-Hernandez, Carlos A, Ahn, Se Hyun, Guo, L Jay
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2011
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Research Support, U.S. Gov't, Non-P.H.S. Polyethylene Terephthalates Silicon Dioxide 7631-86-9 Silicon Z4152N8IUI