High-efficiency Fresnel zone plates for hard X-rays by 100 keV e-beam lithography and electroplating
The fabrication and characterization of Fresnel zone plates (FZPs) for hard X-ray microscopy applications are reported. High-quality 500 nm- and 1 µm-thick Au FZPs with outermost zone widths down to 50 nm and 70 nm, respectively, and with diameters up to 600 µm were fabricated. The diffraction effic...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Journal of synchrotron radiation. - 1994. - 18(2011), Pt 3 vom: 18. Mai, Seite 442-6
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| 1. Verfasser: |
Gorelick, Sergey
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Vila-Comamala, Joan,
Guzenko, Vitaliy A,
Barrett, Ray,
Salomé, Murielle,
David, Christian |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2011
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Journal of synchrotron radiation
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| Schlagworte: | Journal Article |
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