Spin-cast and patterned organophosphonate self-assembled monolayer dielectrics on metal-oxide-activated Si

Spin-cast and patterned organophosphonate self-assembled monolayer dielectrics on metal-oxide-activated Si

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 23(2011), 16 vom: 26. Apr., Seite 1899-902
1. Verfasser: Acton, Orb (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Hutchins, Daniel, Arnadóttir, Líney, Weidner, Tobias, Cernetic, Nathan, Ting, Guy G, Kim, Tae-Wook, Castner, David G, Ma, Hong, Jen, Alex K-Y
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2011
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, N.I.H., Extramural Research Support, Non-U.S. Gov't Research Support, U.S. Gov't, Non-P.H.S. Metals Organophosphates Organophosphonates Oxides Aluminum Oxide LMI26O6933 mehr... Silicon Z4152N8IUI
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