Local doping of silicon using nanoimprint lithography and molecular monolayers

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 23(2011), 11 vom: 18. März, Seite 1346-50
1. Verfasser: Voorthuijzen, W Pim (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Yilmaz, M Deniz, Naber, Wouter J M, Huskens, Jurriaan, van der Wiel, Wilfred G
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2011
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Phosphorus 27YLU75U4W Silicon Dioxide 7631-86-9