Electromagnetic micropores : fabrication and operation

We describe the fabrication and characterization of electromagnetic micropores. These devices consist of a micropore encompassed by a microelectromagnetic trap. Fabrication of the device involves multiple photolithographic steps, combined with deep reactive ion etching and subsequent insulation step...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids. - 1992. - 26(2010), 24 vom: 21. Dez., Seite 19239-44
1. Verfasser:	Basore, Joseph R (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Lavrik, Nickolay V, Baker, Lane A
Format:	Online-Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2010
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
Schlagworte:	Journal Article