Non-reflecting silicon and polymer surfaces by plasma etching and replication

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 23(2011), 1 vom: 04. Jan., Seite 122-6
1. Verfasser: Sainiemi, Lauri (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Jokinen, Ville, Shah, Ali, Shpak, Maksim, Aura, Susanna, Suvanto, Pia, Franssila, Sami
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2011
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Dimethylpolysiloxanes Silicon Z4152N8IUI