Metal-assisted chemical etching of silicon : a review
This article presents an overview of the essential aspects in the fabrication of silicon and some silicon/germanium nanostructures by metal-assisted chemical etching. First, the basic process and mechanism of metal-assisted chemical etching is introduced. Then, the various influences of the noble me...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 23(2011), 2 vom: 11. Jan., Seite 285-308
|
|---|
| 1. Verfasser: |
Huang, Zhipeng
(VerfasserIn) |
|---|
| Weitere Verfasser: |
Geyer, Nadine,
Werner, Peter,
de Boor, Johannes,
Gösele, Ulrich |
|---|
| Format: | Online-Aufsatz
|
|---|
| Sprache: | English |
|---|
| Veröffentlicht: |
2011
|
|---|
| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
|
|---|
| Schlagworte: | Journal Article
Research Support, Non-U.S. Gov't
Review
Metals
Silicon
Z4152N8IUI |
|---|