Photoresist templates for wafer-scale defect-free evaporative lithography
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 22(2010), 45 vom: 01. Dez., Seite 5150-3 |
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| 1. Verfasser: | |
| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | Online-Aufsatz |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2010
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) |
| Schlagworte: | Journal Article Gold 7440-57-5 |
| Online verfügbar |
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