Nanoscopic patterned materials with tunable dimensions via atomic layer deposition on block copolymers

Nanoscopic patterned materials with tunable dimensions via atomic layer deposition on block copolymers

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 22(2010), 45 vom: 01. Dez., Seite 5129-33
1. Verfasser: Peng, Qing (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Tseng, Yu-Chih, Darling, Seth B, Elam, Jeffrey W
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2010
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, U.S. Gov't, Non-P.H.S. Metals Oxides Polymers
Online verfügbar Volltext