Vacuum-assisted aerosol deposition of a low-dielectric-constant periodic mesoporous organosilica film

Vacuum-assisted aerosol deposition of a low-dielectric-constant periodic mesoporous organosilica film

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 22(2010), 1 vom: 05. Jan., Seite 99-102
1. Verfasser: Wang, Wendong (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Grozea, Daniel, Kim, Ara, Perovic, Douglas D, Ozin, Geoffrey A
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2010
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Aerosols Silicon Dioxide 7631-86-9
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