Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. - 1986. - 55(2008), 12 vom: 03. Dez., Seite 2709-13
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| 1. Verfasser: |
Tanaka, Atsushi
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Yanagitani, Takahiko,
Matsukawa, Mami,
Watanabe, Yoshiaki |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2008
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
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| Schlagworte: | Letter
Silicon Dioxide
7631-86-9
Zinc Oxide
SOI2LOH54Z |
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