Self-assembled monolayer compatible with metal surface acoustic wave devices on lithium niobate

The formation of a siloxane self-assembled monolayer (SAM) film on a lithium niobate substrate was investigated for surface acoustic wave (SAW) sensor devices for the detection of hydrogen. The most widely used SAM coupling reagent, octadecyltrichlorosilane, etches aluminum metal features that are i...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids. - 1992. - 24(2008), 9 vom: 06. Mai, Seite 5161-5
1. Verfasser: Nihonyanagi, Satoshi (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Eftekhari-Bafrooei, Ali, Hines, Jacqueline, Borguet, Eric
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2008
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
Schlagworte:Journal Article