A Shack-Hartmann measuring head for the two-dimensional characterization of X-ray mirrors
The recent development of short-wavelength optics (X/EUV, synchrotrons) requires improved metrology techniques in terms of accuracy and curvature dynamic range. In this article a stitching Shack-Hartmann head dedicated to be mounted on translation stages for the characterization of X-ray mirrors is...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Journal of synchrotron radiation. - 1994. - 15(2008), Pt 2 vom: 07. März, Seite 134-9
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| 1. Verfasser: |
Floriot, Johan
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Levecq, Xavier,
Bucourt, Samuel,
Thomasset, Muriel,
Polack, François,
Idir, Mourad,
Mercère, Pascal,
Moreno, Thierry,
Brochet, Sylvain |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2008
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Journal of synchrotron radiation
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| Schlagworte: | Journal Article |
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