Radiofrequency discharge : a low-pressure contactless sonic wave sensor

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. - 1986. - 33(1986), 5 vom: 15., Seite 513-5
1. Verfasser: Kumar, D (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Klasinc, L, Clancy, P L, McGlynn, S P
Format: Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 1986
Zugriff auf das übergeordnete Werk:IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
Schlagworte:Journal Article