Capacitive micromachined ultrasonic transducers : fabrication technology

Capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) technology is a prime candidate for next generation imaging systems. Medical and underwater imaging and the nondestructive evaluation (NDE) societies have expressed growing interest in cMUTs over the years. Capacitive micromachined ultrasonic tra...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. - 1986. - 52(2005), 12 vom: 23. Dez., Seite 2242-58
1. Verfasser:	Ergun, Arif Sanli (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Huang, Yongli, Zhuang, Xuefeng, Oralkan, Omer, Yaralioglu, Goksen G, Khuri-Yakub, Butrus T
Format:	Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2005
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
Schlagworte:	Journal Article Membranes, Artificial