XAFS spectra from reflectivity measurements

The reflectivity of TiSi(2) films was measured as a function of photon energy E at the Ti K-edge region at a glancing angle theta close to the critical angle theta(C) of total reflection. TiSi(2) silicide films (about 30 nm thickness) were prepared by silicidation of Ti thin films deposited on Si(00...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of synchrotron radiation. - 1998. - 5(1998), Pt 3 vom: 01. Mai, Seite 1144-5
1. Verfasser: Tani, K (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Nanjyo, T, Masui, S, Saisho, H
Format: Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 1998
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Journal of synchrotron radiation
Schlagworte:Journal Article