Silicide formation and structural evolution in Fe-, Co-, and Ni-implanted silicon

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. B, Condensed matter. - 1985. - 46(1992), 7 vom: 15. Aug., Seite 4077-4085
1. Verfasser:	Tan (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Namavar, Budnick, Sanchez, Fasihuddin, Heald, Bouldin, Woicik
Format:	Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	1992
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	Physical review. B, Condensed matter
Schlagworte:	Journal Article