Relocation of Si atoms in kilo-electron-volt and mega-electron-volt Si-ion irradiation of crystalline Si
Veröffentlicht in: | Physical review. B, Condensed matter. - 1985. - 41(1990), 14 vom: 15. Mai, Seite 9907-9912 |
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Format: | Aufsatz |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
1990
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Schlagworte: | Journal Article |