Relocation of Si atoms in kilo-electron-volt and mega-electron-volt Si-ion irradiation of crystalline Si

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Physical review. B, Condensed matter. - 1985. - 41(1990), 14 vom: 15. Mai, Seite 9907-9912
1. Verfasser: Keinonen (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Hautala, Koponen I, Erola
Format: Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 1990
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Physical review. B, Condensed matter
Schlagworte:Journal Article