Range and thermal-behavior studies of Au and Bi implanted into photoresist films

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. B, Condensed matter. - 1985. - 41(1990), 10 vom: 01. Apr., Seite 6145-6153
1. Verfasser:	Behar (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Grande, Amaral, Kaschny, Zawislak, Guimares, Biersack, Fink
Format:	Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	1990
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	Physical review. B, Condensed matter
Schlagworte:	Journal Article