Ion-energy effects in silicon ion-beam epitaxy

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. B, Condensed matter. - 1985. - 53(1996), 16 vom: 15. Apr., Seite 10781-10792
1. Verfasser:	Rabalais (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Al-Bayati, Boyd, Marton, Kulik, Zhang, Chu
Format:	Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	1996
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	Physical review. B, Condensed matter
Schlagworte:	Journal Article