Range profiles in self-ion-implanted crystalline Si
| Veröffentlicht in: | Physical review. B, Condensed matter. - 1985. - 52(1995), 21 vom: 01. Dez., Seite 15170-15175 |
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| 1. Verfasser: | |
| Weitere Verfasser: | , , |
| Format: | Aufsatz |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
1995
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Physical review. B, Condensed matter |
| Schlagworte: | Journal Article |