Microvoid, Si, H, and Al dynamics in a-Si:H/Al2O3/Al structures : A small-angle x-ray-scattering and infrared-absorption study
Veröffentlicht in: | Physical review. B, Condensed matter. - 1985. - 50(1994), 11 vom: 15. Sept., Seite 7358-7364 |
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1. Verfasser: | |
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Format: | Aufsatz |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
1994
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Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Physical review. B, Condensed matter |
Schlagworte: | Journal Article |