Modeling of microwave discharges in the presence of plasma resonances

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Physical review. E, Statistical physics, plasmas, fluids, and related interdisciplinary topics. - 1993. - 51(1995), 6 vom: 01. Juni, Seite 6091-6103
1. Verfasser: Aliev (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Maximov, Kortshagen, Schlüter, Shivarova
Format: Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 1995
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Physical review. E, Statistical physics, plasmas, fluids, and related interdisciplinary topics
Schlagworte:Journal Article
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