Experimental investigation and fast two-dimensional self-consistent kinetic modeling of a low-pressure inductively coupled rf discharge
| Veröffentlicht in: | Physical review. E, Statistical physics, plasmas, fluids, and related interdisciplinary topics. - 1993. - 51(1995), 6 vom: 01. Juni, Seite 6063-6078 |
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| 1. Verfasser: | |
| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | Aufsatz |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
1995
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Physical review. E, Statistical physics, plasmas, fluids, and related interdisciplinary topics |
| Schlagworte: | Journal Article |