Defect formation in H implantation of crystalline Si

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. B, Condensed matter. - 1985. - 37(1988), 14 vom: 15. Mai, Seite 8269-8277
1. Verfasser:	Keinonen (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hautala, Rauhala, Karttunen V, Kuronen, Räisänen, Lahtinen, Vehanen, Punkka, Hautojärvi
Format:	Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	1988
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	Physical review. B, Condensed matter
Schlagworte:	Journal Article