Correlation between physical properties and hydrogen concentration in magnetron-sputtered amorphous silicon
| Veröffentlicht in: | Physical review. B, Condensed matter. - 1985. - 33(1986), 10 vom: 15. Mai, Seite 7022-7028 |
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| 1. Verfasser: | |
| Weitere Verfasser: | , , , , , |
| Format: | Aufsatz |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
1986
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Physical review. B, Condensed matter |
| Schlagworte: | Journal Article |
| Beschreibung: | Date Revised 20.11.2019 published: Print Citation Status PubMed-not-MEDLINE |
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| ISSN: | 0163-1829 |