Measurements of the gas kinetic temperature in a CH4-H2 discharge during the growth of diamond

Measurements of the gas kinetic temperature in a CH4-H2 discharge during the growth of diamond

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Physical review. A, Atomic, molecular, and optical physics. - 1990. - 44(1991), 6 vom: 15. Sept., Seite 3796-3803
1. Verfasser: Chu (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Den Hartog EA, Lefkow, Jacobs, Anderson, Lagally, Lawler
Format: Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 1991
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Physical review. A, Atomic, molecular, and optical physics
Schlagworte:Journal Article