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Zanchetta, Erika
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Stereolithography of SiOC Ceramic Microcomponents
von
Zanchetta
,
Erika
Veröffentlicht in:
Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
(2016)
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2
Novel hybrid organic-inorganic spin-on resist for electron- or photon-based nanolithography with outstanding resistance to dry etching
von
Zanchetta
,
Erika
Veröffentlicht in:
Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
(2013)
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