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Shcherbachev, Kirill
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1
The microstructure of Si surface layers after plasma-immersion He+ ion implantation and subsequent thermal annealing
par
Lomov, Andrey
Publié dans:
Journal of applied crystallography
(2017)
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Shcherbachev
,
Kirill
...
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2
Defect structure transformation after thermal annealing in a surface layer of Zn-implanted Si(001) substrates
par
Shcherbachev
,
Kirill
Publié dans:
Journal of applied crystallography
(2013)
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