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1
Atomic layer deposition of conformal inorganic nanoscale coatings on three-dimensional natural fiber systems effect of surface topology on film growth characteristics
von
Hyde, G Kevin
Veröffentlicht in:
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
(2007)
Weitere Verfasser:
“
...
Park
,
Kie
Jin
...
”
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2
In situ auger electron spectroscopy study of atomic layer deposition growth initiation and interface formation reactions during ruthenium ALD on Si-H, SiO2, and HfO2 surfaces
von
Park
,
Kie
Jin
Veröffentlicht in:
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
(2007)
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