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Design of experiment for optimization of plasma-polymerized octafluorocyclobutane coating on very high aspect ratio silicon molds
von
Yeo, L P
Veröffentlicht in:
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
(2006)
Weitere Verfasser:
“
...
Lam
,
Y
C
...
”
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Simulation and investigation of factors affecting high aspect ratio UV embossing
von
Chan-Park, Mary B
Veröffentlicht in:
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
(2005)
Weitere Verfasser:
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