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Elliott, Simon D
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1
Modeling Mechanism and Growth Reactions for New Nanofabrication Processes by Atomic Layer Deposition
par
Elliott
,
Simon
D
Publié dans:
Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
(2016)
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2
Atomistic kinetic Monte Carlo study of atomic layer deposition derived from density functional theory
par
Shirazi, Mahdi
Publié dans:
Journal of computational chemistry
(2014)
Autres auteurs:
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...
Elliott
,
Simon
D
...
”
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3
Mechanism, products, and growth rate of atomic layer deposition of noble metals
par
Elliott
,
Simon
D
Publié dans:
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
(2010)
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