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    Modeling Mechanism and Growth Reactions for New Nanofabrication Processes by Atomic Layer Deposition
    Modeling Mechanism and Growth Reactions for New Nanofabrication Processes by Atomic Layer Deposition
    par Elliott, Simon D
    Publié dans: Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) (2016)

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  2. 2
    Atomistic kinetic Monte Carlo study of atomic layer deposition derived from density functional theory
    Atomistic kinetic Monte Carlo study of atomic layer deposition derived from density functional theory
    par Shirazi, Mahdi
    Publié dans: Journal of computational chemistry (2014)
    Autres auteurs: “...Elliott, Simon D...”

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  3. 3
    Mechanism, products, and growth rate of atomic layer deposition of noble metals
    Mechanism, products, and growth rate of atomic layer deposition of noble metals
    par Elliott, Simon D
    Publié dans: Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids (2010)

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