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1
Self-calibration strategies for reducing systematic slope measurement errors of autocollimators in deflectometric profilometry
von
Geckeler, Ralf D
Veröffentlicht in:
Journal of synchrotron radiation
(2024)
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2
Calibration of a compact XUV soft X-ray monochromator with a digital autocollimator in situ
von
Yuh, Jih Young
Veröffentlicht in:
Journal of synchrotron radiation
(2016)
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