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Aluminum 1 CMOS compatibility CPD4NFA903 1 Journal Article 1 biosensing 1 deep ultraviolet lithography 1 free-standing membranes 1 plus ... high-throughput fabrication 1 metasurfaces 1 wavefront and polarization control 1 moins ...
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    Wafer-Scale Functional Metasurfaces for Mid-Infrared Photonics and Biosensing
    Wafer-Scale Functional Metasurfaces for Mid-Infrared Photonics and Biosensing
    par Leitis, Aleksandrs
    Publié dans: Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) (2021)

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