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1
boundary integral equation method
1
boundary profiles
1
continuum growth model
1
diffraction grating efficiency
1
multilayer relief gratings
1
scattering intensity
1
plus ...
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moins ...
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1
Nonlinear continuum growth model of multiscale reliefs as applied to rigorous analysis of multilayer short-wave scattering intensity. I. Gratings
par
Goray, Leonid
Publié dans:
Journal of applied crystallography
(2013)
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