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2
autocollimator
angle metrology
1
data processing
1
deflectometry
1
diffraction gratings
1
error suppression
1
plus ...
extreme ultraviolet (EUV)
1
form measurement
1
free-electron laser
1
metrological instrumentation
1
on-site beamline diagnistic
1
optical metrology
1
profilometry
1
soft X-rays
1
synchrotron
1
moins ...
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1
Self-calibration strategies for reducing systematic slope measurement errors of autocollimators in deflectometric profilometry
par
Geckeler, Ralf D
Publié dans:
Journal of synchrotron radiation
(2024)
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2
Calibration of a compact XUV soft X-ray monochromator with a digital autocollimator in situ
par
Yuh, Jih Young
Publié dans:
Journal of synchrotron radiation
(2016)
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