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  1. 1
    Synchrotron-radiation-stimulated etching of polydimethylsiloxane using XeF(2) as a reaction gas
    von Chiang, Tsung Yi
    Veröffentlicht in: Journal of synchrotron radiation (2010)
    Weitere Verfasser: “...Wang, Changshun...”

    Online-Aufsatz

  2. 2
    Synchrotron-radiation-stimulated etching of SiO2 thin films with a tungsten nano-pillar mask
    von Wang, Changshun
    Veröffentlicht in: Journal of synchrotron radiation (2006)
    Aufsatz

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