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Rapid Harmonic Analysis of Piezoelectric MEMS Resonators

von Puder, Jonathan M
Veröffentlicht in: IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control (2018)

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2

A General Analytical Formulation for the Motional Parameters of Piezoelectric MEMS Resonators

von Puder, Jonathan M
Veröffentlicht in: IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control (2018)

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