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1
Single Layer Surface-Grafted PMMA as a Negative-Tone e-Beam Resist
von
Yamada, Hirotaka
Veröffentlicht in:
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
(2017)
Weitere Verfasser:
“
...
Aydinoglu
,
Ferhat
...
”
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2
Grafted Polystyrene Monolayer Brush as Both Negative and Positive Tone Electron Beam Resist
von
Aydinoglu
,
Ferhat
Veröffentlicht in:
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
(2017)
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